반도체 세정용 가스는 환급대상 원재료인가?

A사는 반도체 제조 시 사용하는 가스를 수입해 B사의 보세공장에 공급할 예정이다. 이 가스는 웨이퍼와 제조장치 벽 등에 형성된 불필요한 박막을 제거하는 세정공정에 사용된다.

질의요지

보세공장원재료(반도체 제조용 SIF3가스)는 환급대상원재료

상세내용

▶ 사실관계

ㅇ A사는 반도체 제조시 사용되는 CIF3가스를 수입하여 보세공장에 공급할 예정

ㅇ CIF3가스는 반도체 소자 제조시 웨이퍼위 뿐만 아니라 반도체 제조장치(CVD)의 벽 등에 만들어진 불필요한 Si 박막을 제거하기 위하여 사용됨

▶ 질의

ㅇ 반도체 Process Gas CIF3는 A사가 수입하여 관세를 납부하고 B사의 보세공장에 반입(판매) 시에 A사가 관세환급을 받을 수 있는지 여부

ㅇ B사 보세공장 반입 시에 반입확인서를 발급받아야 하는지 여부

ㅇ 수입 시 관세납부부터 관세환급까지의 처리절차

회신내용 :

질의물품은 반도체를 생산하는 기계ㆍ기구ㆍ설비 등에 투입되는 물품이 아니며, 반도체를 제조하는 과정에서 연속되는 일련의 공정과 공정 사이에서 불가피하게 수반되는 세정공정에 투입되는 물품으로 판단되므로, 동 질의물품이 보세공장에 반입되어 수출물품 생산에 사용되는 경우 환급특례법 제3조에서 규정하는 환급대상원재료에 해당됨. 따라서, 질의물품을 보세공장에 반입하는 때 보세공장 소재지 관할세관장으로부터 「환급대상수출물품 반입확인서」를 발급받아 환급신청인의 관할세관장에게 환급신청하는 경우 수입시 납부한 관세 등을 환급받을 수 있음.참고 :

※ 2004년도 제2차 통관예규심사협의회 개최결과(결정 제2004-3호, 2004.9.3.)NF3는 반도체 제조의 증착공정 후 증착장비의 반응실 내벽에 증착된 Particle을 제거함으로써 반도체 생산수율을 향상시키는 역할을 하는 물품으로 참석위원 다수의견이 기계ㆍ기구ㆍ설비 등에 투입되어 소모되는 물품에 해당하지 않으며, 웨이퍼가공을 위하여 연속적으로 진행되는 일련의 공정 중 제조공정후에 불가피하게 수반되는 세정공정에 사용되는 물품으로서 쟁점물품이 사용되는 세정공정이 반도체산업의 필수 제조ㆍ가공공정에 해당되므로 1)기계ㆍ기구ㆍ설비 등에 투입되어 소모되는 물품이 아니고, 2)제품의 제조ㆍ가공공정에 투입ㆍ소모되는 물품이므로 관세법시행령 제199조제1항제2호 및 동 규정에 대한 재경부 유권해석에 따라 쟁점물품이 보세공장원재료에 해당된다고 결정.

질의

1. 반도체 제조공정의 세정에 사용되는 가스를 수입해 관세를 납부하고 보세공장에 판매하는 경우 관세환급이 가능한지 여부.

2. 보세공장 반입 시 반입확인서를 발급받아야 하는지 여부.

3. 수입 시 관세 납부부터 환급까지의 처리절차.

회답

질의물품은 반도체 생산 기계ㆍ기구ㆍ설비 등에 투입되는 물품이 아니라, 반도체 제조 과정에서 연속되는 공정 사이에 불가피하게 수반되는 세정공정에 투입되는 물품이다. 보세공장에 반입되어 수출물품 생산에 사용되면 환급특례법 제3조의 환급대상원재료에 해당한다.

따라서 보세공장 소재지 관할세관장으로부터 「환급대상수출물품 반입확인서」를 발급받아 환급신청인의 관할세관장에게 신청하면 수입 시 납부한 관세 등을 환급받을 수 있다.

이유

2004년도 제2차 통관예규심사협의회에서는 반도체 제조공정 후 불가피하게 수반되는 세정공정이 필수 제조ㆍ가공공정에 해당하고, 그 물품이 기계ㆍ기구ㆍ설비 등에 투입되는 것이 아니라 제품 제조ㆍ가공공정에 투입ㆍ소모된다는 이유로 보세공장원재료에 해당한다고 결정하였다.

관세청 법령해석 법령해석일련번호 26710 (2008.05.22 회신), "반도체 세정용 가스는 환급대상 원재료인가?", GovBrief 관세, https://customs.govbrief.kr/d/kcs_cgm/26710/